鋁基板性能方麵包括剝離強度、表麵電阻率、最小擊穿電壓、介電常數、燃燒性和熱阻等要求。
而造成人們的預計與現實如此大差異的原因是,在鋁基板集成電路工藝中,低介電常數材料必須滿足諸多條件,例如:足夠的機械強度(MECHANICAL strength)以支撐多層連線的架構、高楊氏係數(Young's modulus)、高擊穿電壓(breakdown voltage>4MV/cm)、低漏電(leakage current<10-9 at 1MV/cm)、高熱穩定性(thermal stability >450oC)、良好的粘合強度(adhesion strength)、低吸水性(low moisture uptake)、低薄膜應力(low film stress)、高平坦化能力(planarization)、低熱漲係數(coefficient of thermal expansion)以及與化學機械拋光工藝的兼容性(compatibility with CMP process)等等。
能夠滿足上述特性的低介電常數材料並不容易獲得。例如,薄膜的介電常數與熱傳導係數往往就呈反比關係。因此,低介電常數材料本身的特性就直接影響到工藝集成的難易度。